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CIF推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單方便,易維護(hù)。??
產(chǎn)品特點(diǎn)
u?7寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。
u?PLC控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
u?采用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合?/span>等氣體,氣體控制精準(zhǔn)。
u?氣體返填吹掃,HEPA高效過(guò)濾,防止二次污染。
u?316不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。
u?采用60度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。
u?上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。
u?內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門(mén)不易損壞。
u?處理快速高效均勻,無(wú)污染,工藝重復(fù)性好。
u?樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。
u?安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | CPC-E | CPC-Eplus | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus | ||
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz | ||
射頻功率 | 10-300W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | 10-600W | 10-150W | ||
匹配器 | 自動(dòng)匹配器 | 自動(dòng)匹配器 | 自動(dòng)匹配器 | |||||
激發(fā)方式 | 電容式或電感耦合(ICP) | 電容式或電感耦合(ICP) | 電容式或電感耦合(ICP) |
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