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CIF 實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)

CIF推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備,合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。產(chǎn)品性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單方便,易維護(hù)。??

產(chǎn)品特點(diǎn)

u?7寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

u?PLC控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

u?采用美國(guó)德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)(CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣或混合?/span>等氣體,氣體控制精準(zhǔn)。

u?氣體返填吹掃,HEPA高效過(guò)濾,防止二次污染。

u?316不銹鋼、石英真空可選擇,全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

u?采用60度傾角操作面板設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

u?上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占地空間小。

u?內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì),有效保護(hù)流量計(jì)和艙門(mén)不易損壞。

u?處理快速高效均勻,無(wú)污染,工藝重復(fù)性好。

u?樣品處理溫度,無(wú)熱損傷和熱氧化。

u?安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

CPC-E

CPC-Eplus

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

10-300W

10-150W

10-600W

10-150W

10-600W

10-150W

匹配器

動(dòng)匹配

動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配器

激發(fā)方式

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

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