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CIF紫外臭氧清洗機

紫外臭氧清洗機(UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗機系列產(chǎn)品采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào),可選加熱控溫,以便達到最佳清洗效果。
產(chǎn)品特點
u?UVO基礎型系列采用可編程數(shù)字控制器,設置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,設置顯示計時時間及加熱溫度。
u?自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
u?數(shù)字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時間
u?任何時間可以手動中斷處理過程。
u?自動記錄之前清洗參數(shù)設置。
u?樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-200℃,控溫精度0.1℃。
u?頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式,操作簡單方便。
u?上置式樣品臺設計,360度自由放置樣品,操作方便。
u?樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
u?UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。
u?高強度UV燈源,波長185nm和254nm。
u?可累計計時UV格柵燈使用時長,更換提示。
u?UV反射罩(長X寬)比UV格柵燈大25mm。
u?雙重安全保護,帶有安全鎖,當清洗腔打開時,系統(tǒng)自動關(guān)掉UV燈,并有燈光通斷提示。
u?帶進&出氣口雙氣路設計。
u?可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。
u?UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO13系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。
u?可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

UVO5/UVO5P/UVO5T

UVO9/UVO9P/UVO9T

UVO13/UVO13P/UVO13T

UV燈尺寸

130x130mm

230x230mm

330x330mm

樣品臺高度

0-50mm可調(diào)

0-50mm可調(diào)

0-50mm可調(diào)

??

AC220V 50/60Hz 140/190/690W

AC220V 50/60Hz 140/190/690W

AC220V 50/60Hz ?140/190/1160W

外型尺寸

L260xW320xH200mm

L370xW470xH200mm

L465xW575xH200mm

包裝尺寸

L375xW470xH390mm

L490xW600xH320mm

L575xW680xH320mm

整機重量

8kg

15kg

18kg

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